中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9103057 を販売中
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ID: 9103057
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Metal etcher, 12"
(3) Chambers
(2) Axiom chambers
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II Asherは、研究開発および生産アプリケーション向けに設計された高度なプラズマエッチングおよび洗浄装置です。高性能ドライエッチング機能、優れた粒子除去、低温洗浄、高速ランプダウン時間を兼ね備えています。エッチング工程の最適化に優れた精度と再現性を提供します。AMAT DPS II Asherは、暖かい、低圧洗浄またはエッチングおよびエッチング処理のための発熱体を備えた真空チャンバーを備えています。また、エッチング用の搬送段に製品を配置するための回転テーブルも含まれています。高度なプロセスコントローラはプロセスパラメータを監視し、LCDユーザーインターフェイスはオペレータがプロシージャを操作するのに役立ちます。プラズマエッチングは、RFプラズマソースを使用してプラズマフィールドを作成および制御する高周波ジェネレータによって駆動されます。エッチングチャンバーからプラズマを制御し、チャンバー条件を提供および維持するために、統合された放出ユニットが使用されます。また、高解像度のデジタル・マルチメーターとデジタル・スラスタを備えており、正確なエッチング・プロセス制御を実現しています。プロセスコントローラにはリアルタイムフィードバックデータが装備されており、正確で正確なエッチングを保証します。これは、プロセスのリモート制御のための外部PCにリンクすることができます。また、エッチングプロセス温度をロックするクローズループ温度制御ツールと、アッシャーの温度を常に維持するための高性能温度制御アセットを備えています。さらに、エッチングプロセスは、光放射分光法、質量分光法、その他のプロセスパラメータなど、さまざまな診断で監視することができます。エッチング面からの粒子洗浄が可能で、粒子汚染を低減します。それはまた速い維持および修理のための真空の部屋への容易なアクセスを可能にします。APPLIED MATERIALTS DPS II Asherの主な利点には、高い再現性、価値、エッチング、クリーニングおよびその他のアプリケーションのパフォーマンスが含まれます。優れた精度と再現性、粒子汚染の最小化、高速ランプダウン時間、エッチング面の優れた清潔性を提供します。機器も使いやすく、効率的で費用対効果が高いです。
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