中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9078107 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS IIは、高精度で複雑なエッチングおよびアッシング操作を行うように設計された高度なエッチング/アッシュ装置です。このシステムは、薄膜、ウェーハ、その他の基板など、さまざまなエッチング材料を処理することができます。半導体デバイス上のパターンレイヤーのエッチング、マイクロ流体試験、MEMSデバイスなど、さまざまな用途に使用できます。このユニットには、マルチプロセスチャンバー、複数のソースモジュール、および複数のin-situセンサプロセスが装備されています。マルチプロセスチャンバーは、カスタマイズ可能なプロセスを可能にし、ユーザーはさまざまなエッチングおよび金属蒸着ニーズに対応することができます。ソースモジュールには、リン化物のウェットエッチングチャック、電子ビーム源、および誘導結合プラズマ源が含まれます。これらのソースはすべて、非常に均一なフィルムやフォトレジストを生成することができます。in-situセンサプロセスは、高品質のプロセス結果を保証するために、プロセスパラメータに関するフィードバックを提供します。機械の特徴はまた包括的なエッチング操作を可能にします。精密かつ反復可能な磁界補助エッチング処理と、高度な膜厚プロファイリング機能を備えています。さらに、このツールの直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーは操作パラメータとプロセスをリアルタイムで監視および制御できます。さらに、AMAT DPS II etch/ash資産には、危険物のアーク保護やプログラム可能なロックアウトドアなど、いくつかの安全機能があります。これらの要素はすべて、幅広い用途向けに設計された信頼性の高い安全なエッチング/灰モデルです。全体的に、APPLIED MATERIALTS DPS IIは、さまざまなアプリケーションに適した強力で信頼性の高いエッチング/灰の装置です。精密エッチングとアッシング操作を容易かつ信頼性の高い複数のツールと機能を備えています。マルチプロセスチャンバーと複数のソースモジュールを備えており、エッチングと金属蒸着のニーズに対応できます。また、包括的な安全機能も備えており、あらゆるクリーンルーム環境に適しています。