中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE G3 #9236820 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE G3
ID: 9236820
ウェーハサイズ: 12"
Poly etchers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE G3は、高いスループットを維持し、優れた結果を生み出し、高い生産性を維持できる高性能エッチャー/アッシャーです。この装置は、異なるエッチングおよび灰アプリケーション用に複数のチャンバ構成を備えた優れた柔軟性を備えています。このシステムには高度なプロセス制御機能が装備されており、あらゆるバッチで一貫した繰り返し可能なエッチングと灰の結果を保証します。AE G3は、機械全体が単一の発煙抽出エンクロージャに含まれているため、統合されたユニットです。AE G3の中心には、高解像度のPPC 1210コンピュータ制御ツールがあり、信頼性の高いパフォーマンスと最大の資産信頼性を実現するように設計されています。また、Windowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイスとシンプルなメニュー構造により、セットアップと操作が簡単に行えるように設計されています。この機器はEtherNet/IPを備えており、工場ネットワーク上の他のコンピュータシステムと統合することができます。プロセスの柔軟性のために、AE G3は、シングルエッチングまたはダブルエッチングチャンバー、システム内冷却、および選択可能な真空レベルを含む複数のチャンバ構成を提供します。また、さまざまなRFおよびDCパワーレベル、ランプレート、プロファイル、サイクルタイムを備えており、エッチングまたはアッシングアプリケーションのニーズを満たしています。高度なプロセス制御機能を使用することで、AE G3は一貫した結果を得るためにエッチング速度を正確かつ正確に制御できます。AE G3はまた、ユーザーと環境を保護するための幅広い安全機能を提供しています。このユニットはUL認証を受けており、緊急遮断システム、ギャップレス絶縁バルブ、および危険な発煙のための避難機が含まれています。それはまた安全および清潔のための帯電防止保護および自動部屋のパージ機能を含んでいます。AMAT DPS II AE G3は、多種多様なニーズに対応するために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。優れたプロセス柔軟性、高度なプロセス制御機能、および信頼性の高いパフォーマンスと最大限のユーザーの安全性を確保するための幅広い安全機能を提供します。このツールは、ハイスループットエッチングおよび灰アプリケーションに最適であり、あらゆる産業環境に最適です。
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