中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 #9300995 を販売中
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AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5は、幅広い用途向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーです。コンパクトで使いやすい設計で、さまざまな工程チャンバーでシームレスに動作します。マルチチャンバープラットフォームは、ドライエッチングとウェット処理の両方に対応できます。さらに、AMAT DPS G5は、高容量の蒸着チャンバを提供し、エッチング速度と微細なライン分解能を向上させます。このシステムは、優れたプロセス制御と再現性を提供し、エンドユーザーが費用対効果の高い方法で厳しい公差を持つ材料を製造することを可能にします。アプライドマテリアルズDPS G5は、信頼性の高い技術で構築された多機能エッチャー/アッシャーであり、コストとパフォーマンスの最適な組み合わせを提供します。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備え、多種多様な材料をエッチングするマルチガス選択機能を提供します。このユニットは、複雑なエッチングおよびデポジット処理チャンバへの容易なアクセスを可能にし、研究者が迅速に実験を設定し、プロセスパラメータを調整することができます。また、DPS G5を使用すると、エッチング時間を短縮しながら、望ましい結果を得ることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5は、完全自動エンドポイント制御を可能にし、ユーザーにエンドポイントイベントに対するサブ秒の応答を提供します。また、エッチング工程ごとにRFパワーを制御することができ、アプリケーションに応じてエッチング動作を調整することができます。ゼロブレイクダウン機能を備え、オプションのエクステンダーにより、最大6インチのサイズのウェーハを処理できます。AMAT DPS G5はシングルウエハーロックを備えており、短いサイクルタイムで、研究者はガス消費を最小限に抑えてウェーハを素早くロードおよびアンロードすることができます。アプライドマテリアルズDPS G5には、流量計、圧力センサ、温度センサなどの高度な安全機能が搭載されています。この機器は信頼性が高く、優れた性能と再現性を提供します。また、最先端の冷却ツールを備えているため、ユーザーはチャンバーを冷却して熱の問題を避け、最終的に優れた結果をもたらすことができます。DPS G5には柔軟なPLCプログラミング言語が付属しており、ユーザーに優れた設計プロセス制御を提供し、プロセス条件の変化に迅速に対応できます。APPLIED MATERIALS AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5は信頼性の高い高精度エッチャー/アッシャーであり、製造プロセスの精度と再現性の向上に適した高度な機能を備えています。AMAT DPS G5は、優れたエッチング結果を費用対効果の高い方法で達成しようとする研究者に最適です。
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