中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3 #9137290 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3
ID: 9137290
ウェーハサイズ: 12"
Poly etchers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3は、さまざまな材料の基板をエッチングしてパッシベートするように設計されたプラズマエッチャー/アッシャーです。この装置は「硬質」と「軟質」の両方の材料を処理することができ、各タイプで優れた結果をもたらします。このシステムは、電磁石ベースのプラズマ原子炉で構成されており、プロセスに高周波電力を適用することによってプラズマが生成されます。プラズマはさまざまな密度に調整することができ、有機層と無機層の両方を最適に除去することができます。また、基板への影響を最小限に抑えるために、高度なエッチング技術を使用しています。AMAT DPS AE Poly G3の設計は、高品質の結果を維持しながらスループットを向上させます。ファラデー回転シールドと連動して動作し、エッチングとプラズマ生成を同時に行うことができます。シールドはさらに、エッチング角度とエッチング速度を制御するのに役立ち、基板の高速で均一な処理を可能にします。ユニットは使いやすく、メンテナンスも最小限で、研究と生産の両方に適しています。このマシンは、基板均一スキャナ、リアクティブイオンエッチツール、プラズマコンディショナーなど、その機能を高めることができるオプションのアクセサリの範囲を持っています。APPLIED MATERIALTS DPS AE Poly G3は、エッチングおよびパッシベーション基板用の堅牢で信頼性の高いツールです。それは一貫したエッチングの結果を保障するのに使用することができる作り付けの力およびプロセス監視機能を備えています。このツールは、さまざまな材料のエッチングに最適で、高速で高品質な結果を提供します。
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