中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #9093405 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532は、薄膜マイクロエレクトロニクス部品の製造用に開発されたアッシャー/エッチャーです。このモデルは、優れたエッチング特性と速度を提供するように特別に設計されており、あらゆるマイクロエレクトロニクス用途に最適です。AMAT DPS 532はスタンドアロンのエッチャー/アッシャー機器で、非常に強力で効率的な機能を備えています。大気から5mTorrまでの圧力範囲を正確に調節できる3 Torr圧力コントローラを搭載しています。本体に搭載されたガスボックスは、高品質のプロセスガスとキャリアガスを連続供給します。各ガスボックスには、ガスライン用の標準接続とバルブが装備されており、セットアップ時間を短縮し、潜在的なエラーを排除します。また、キャビネット内に設置されたガスフローコントローラは、エッチングおよびアッシング工程でガス組成をシームレスかつ正確に制御し、エッチングとアッシングの流量を独立して調整することができます。アプライドマテリアルズDPS 532は、チューナブル誘導結合プラズマソースにより、優れたエッチング品質を提供します。このソースは、バイアス、ウェーハ温度、エッチング時のガス組成などのウェーハマッチングパラメータと最大限の整合性を提供します。また、エッチング率が最も高く、エッチング工程の生産性が向上します。DPS 532は、安全性とユーザーフレンドリーを両立させる高度な安全機能を備えています。このモデルには、エッチング処理が始まる前に完了する必要がある画面上の安全チェックリストがあり、準備やエッチング後のクリーンアップなどの重要な安全手順をユーザーに思い出させます。また、オゾン濃度検出が極めて低く、EPA規制に準拠した安全な操作が可能です。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALTS DPS 532は、優れたエッチング品質、スピード、安全性、信頼性を1つの便利な機器に組み合わせる、あらゆるエッチング用途に最適です。それはあらゆるマイクロエレクトロニクスの適用のために完全な費用効果が大きく、信頼できる用具です。