中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XT ISD #293595648 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XT ISDは、優れたプロセス制御と再現性を提供するために、半導体技術の最新技術を活用した先進的なエッチャー/アッシャーです。このシステムは、シングルウエハローディングと高精度エッチングおよびアッシング機能を組み合わせて、高度なプロセス開発と生産プロセスをサポートします。AMAT Centura XT ISDは、繰り返し可能な結果を可能にする自動プロセス制御プラットフォームを備えています。このシステムはまた、均一なエッチング率と均一な処理方向を維持するのに役立つ均一なガス分布設計を備えています。これにより、多数のウェーハにわたって一貫したエッチング結果が保証されます。APPLIED MATERIALTS Centura XT ISDはまた、1時間あたり150ウェーハのスループットに達することができる高真空機能を備えており、生産プロセスに適しています。Centura XT ISDのプラズマセンサーの高解像度は、ユーザーの希望するエッチング速度をサポートします。このセンサは、実行とプロセスの両方で複数のサイトのエッチング速度を監視することもできます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALTS CENTURA XT ISDにはリアルタイム電流フィード機能が搭載されており、調整可能なエッチレートを提供することでエッチング結果を向上させることができます。AMAT Centura XT ISDは、さまざまなウエハサイズをサポートし、さまざまな金属リフトオフプロセスを備えているため、幅広いエッチングおよび金属蒸着プロセスを実現できます。これにより、シンプルなエッチングレベリングやパッケージングから金属リフトオフ、バルク基板除去（BSR）、アンダーカット/薄型アプリケーションまで、さまざまな先進的な材料加工アプリケーションをサポートします。APPLIED MATERIALS Centura XT ISDは、メンテナンスコストの低い柔軟で効率的なツールであるように設計されています。その特徴は、小型および大容量のエッチングとアッシングジョブの両方を簡単に処理できるようにします。その結果、Centura XT ISDは、研究開発から大量生産加工まで、あらゆるエッチングおよびアッシング処理に適しています。