中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ Super-E #9293833 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+Super-E Etcher/Asherは、オプトエレクトロニクスおよび半導体デバイスのハイスループット生産用に設計された、高度で精密なウェットエッチング装置です。このシステムは、一連のプロセス条件を利用して、優れた表面滑らかさと選択性を備えた高いエッチング速度を提供します。AMAT Centura MxP+Super-Eの特長は、可変速度基板回転器、高温プロセスチャンバー、マルチゾーン温度制御プラットフォームです。自動化された熱管理により、エッチングの均一性が最適化され、複数の独立したプロセスタンクがマルチステップエッチングを可能にします。単位は精密な温度調整、精密なプロセス制御、反復可能なプロセスパラメータおよび厳密な環境の承諾を提供します。APPLIED MATERIALTS Centura MxP+Super-Eは、SiやIII-Vなどの幅広い基板に対応した高度なウェハチャック設計を採用しています。チャックは酸化物のエッチングのために950°Cまで加熱することができ、正確な加熱パラメータはエッチングの均一性、より高いスループット、より低い拒絶率および改善された収率のために堅く制御されます。強力なEnerjector™ RFジェネレータは、正確な制御性を提供し、エッチングパラメータをチューニングする際に正確なプロセス制御を可能にします。Centura MxP+Super-Eは、費用対効果の高いウェットエッチングを提供し、困難な歩留まり、均一性、および選択性の要件を満たします。マルチモジュール構成では、スループットを向上させ、複数のウェハサイズを処理することもできます。機械はまた化学薬品および再生可能なエッチプロフィールの広い範囲を提供します。ウェーハの均一性を実現する自動ウェーハと、エッチングプロセスをリアルタイムで監視できるプロセスモニタを備えています。これにより、一貫性のある結果が保証され、最高品質の基準を満たすことができます。