中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 #293608974 を販売中
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ID: 293608974
ヴィンテージ: 2008
Etcher
EFEM
MF
AC Rack
Generator Rack
(3) Chambers
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5エッチャー/アッシャーは、大量の生産ニーズに対応する高度なエッチングおよびアッシングプロセスを提供するために設計されたシングルステーション機器です。AMAT独自のエッチングおよびアッシング技術に基づいて、シングルチャンバーは迅速なターンアラウンドとスループットの向上を実現し、生産歩留まりを向上させます。AMAT Centura Enabler E5は、制御された低圧環境でさまざまなエッチングおよびアッシング処理を実行できるロードロックシステムです。200mm Advanced Process Module (APM)を搭載し、半導体および光電子デバイス製造に適した最適化されたプロセスレシピライブラリを備えています。また、高精度の温度、圧力、ガス流量制御により、高生産性のマルチステッププロセスをサポートします。このユニットのチャンバーは、APPLIED MATERIALSの特許を取得したPower Processing Technology (PPT)を使用して、ケイ酸塩、ポリシリコン、有機物、窒化物、ポリメタル、およびその他の取り外しにくい材料の正確なエッチングとアッシングを行います。Centura Controllerは、高度に自動化された直感的で費用対効果の高いオペレーティングプラットフォームをユーザーに提供します。プラットフォームは、最高の製品品質と信頼性を確保するために、自動的にエッチングとアッシングプロセスを調整し、最適化します。APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5は、業界をリードする精密プロセスエンドポイント制御ロジックを備えており、プロセスパラメータを自動的に調整するため、手動で調整する必要がありません。これにより、化学反応が正確にタイミングされ、最適なエッチング製品プロファイルが達成されます。また、安全で効率的な環境と、パーティクルスキャナのパーティクル除去技術が統合されており、パーティクルによる製品スクラップの削減に役立ちます。Centura Enabler E5は、高度なエッチングおよびアッシングプロセスに効果的なツールセットと豊富なプロセス経験を提供します。高度な技術と自動化されたプロセスにより、ユーザーはより高い生産歩留まりを達成し、コストを削減できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5は、半導体およびオプトエレクトロニクスデバイスメーカーの生産ニーズを満たすことができる、信頼性の高い費用対効果の高いプラットフォームです。
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