中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DT Hart #293624197 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DT Hartは高度なエッチャー/アッシャーです。この高度なツールは、信頼性が高く、再現性があり、一貫性のあるプロセスでウェーハをエッチングおよびアッシャーする強力な機能を備えています。これは、優れた温度制御、プロセス精度、および低い運用コストで、エッチング化学およびアプリケーションの広い範囲をサポートしています。AMAT Centura DT Hartは、過酸化水素とアルゴンガス混合物を備えた工業グレードの6インチクォーツエッチングチャンバーを備えており、優れたエッチング均一性と信頼性の高い操作を提供します。さらに、デジタルプログラマブルロジックコントローラを使用して、チャンバーの温度と圧力を含むプロセスパラメータを正確に制御します。また、このツールは効率的な3ゾーンの加熱装置を中心に設計されており、温度サイクリングに伴うヒートアップ時間とコストを削減します。また、ウェーハのエッチングとアッシングの両方に精密な温度制御を可能にすることで、アッシング/エッチング処理を簡素化します。APPLIED MATERIALTS Centura DT Hartは、高効率で費用対効果の高いツールであり、商業および研究開発の両方のアプリケーションに適しています。パワフルで自動化されたプロセスコントロールユニットで、欠陥レベルの低い高品質のウェーハを提供できます。機械はまた、再現性と一貫したエッチング結果で、信頼性の高いプロセス制御を保証します。さらに、マルチモード質量分析、固相微細抽出、自動化された粒子フラックス制御などの包括的な分析コンポーネントを備えており、エッチング薬品、チャンバー条件、ウェハ品質を正確かつ正確に測定できます。全体として、Centura DT Hartは、さまざまなアプリケーションに効率的で信頼性の高いアッシングとエッチングを提供する汎用性の高いツールです。高度な温度制御とプロセス精度により、研究開発だけでなく、商業生産アプリケーションにも最適です。