中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 #9384036 を販売中

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2は、高生産性の高性能ウェーハ処理用の高度なエッチャー/アッシャーです。本番環境向けの「ワークホース」として設計されており、迅速なスループット、正確なプロセス制御、優れた均一性、および特定の顧客ニーズに合わせて構成する柔軟性を実現します。このDPS2は、プロセスの柔軟性を高めるために、超短パルス機能を備えたハイスループットパルスコロナ放電（PCD）エッチング/アッシャー装置を使用しています。また、高速プロファイルコントローラを搭載し、幅広いエッチプロファイルを提供し、標準的なロードロックスキーム機能を備えているため、さまざまなウェーハ材料のエッチングやアッシングに最適です。ユニットは2つの実行モードのいずれかで動作します。最初は、処理時間が設定され、実際の負荷サイズに関係なく、その時間内に同じ負荷が処理される固定エッチング時間モードです。2番目のモードは制御されたプロファイルモードで、処理されるウェーハから取得されたエッチプロファイルに基づいて時間が調整されます。調節は、異なる材料とレシピの設定のために行われます。このDPS2は、高度な回転シールドを使用してエッチング処理を均一にし、ウェーハの端やサイコロの角のエッチング速度の変動を低減します。これにより、歩留まり損失が少なくなり、ウェハ品質が向上します。機械の高いスループットと柔軟性により、大量、高精度のエッチングとアッシングのニーズに最適です。また、精密なウエハ加工が不可欠な様々な研究開発プロジェクトにも適しています。DPS2の高温真空はまた、ウェーハの高温処理を伴うアプリケーションに最適です。DPS2は、信頼性の高い動作を保証し、歩留まりを最適化するために、幅広い統合診断機能とモニター機能を提供しています。高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、ツールを制御し、監視することが非常に簡単になります。テクニカルサポートとプロセスエンジニアリングもお客様にご利用いただけます。AMAT Centura DPS2は、生産環境に最適な信頼性と高性能のウェーハ処理ワークホースです。