中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9277563 を販売中
URL がコピーされました!
ID: 9277563
ウェーハサイズ: 8"
Metal etcher, 8"
(2) DPS R0 Metal chambers
(2) ASP Chambers
AC Controller rack
RF Rack
(2) AMAT / APPLIED MATERIALS Chillers
NESLAB 150 Chiller
(2) DTCU
Load locks: Wide body LL
Frame: Ph1
HP Robots
Orientor chambers
EDWARD IQDP Pumps
Chuck type: PI ESC
Signal tower
Hard Disk Drive (HDD)
Gas configuration:
DPS: BCl3, Cl2, N2, CF4
ASP: H2O, CF4, N2, O2.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metalは、半導体およびマイクロエレクトロニクス製造業界の材料を加工するために設計された最先端の機械であるエッチャー/アッシャーです。その小型と優れた性能は、チップメーカーの間で人気のある選択肢となります。AMAT Centura DPS Metalは、多種多様な材料に精密なパターニング、洗浄、乾燥、エッチングが可能です。アプライドマテリアルズCentura DPS Metalは、高精度のアプリケーション向けに設計されています。高精度な流量分布と温度制御を実現するマルチゾーン装置を採用し、様々な基板に均一なエッチングとアッシングが可能です。システムは高度なモーションコントロールで設計されており、一貫した正確なレイヤー形成を保証します。また、容量連結型RF (CCRF)ソースを搭載し、プロセス制御、スループット向上、高精度を実現しています。Centura DPS Metalは、高度な洗浄および乾燥機能も備えています。機械はいろいろなクリーニングの解決と粒子、金属、等のような固体残余を、洗い流すように設計されています。また、高度な乾燥機能を提供し、液体残留物の迅速かつ均一な除去を可能にします。これにより、最適な基板性能と製品品質が保証されます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metalには、最大4つのウェハのローディングとアンロードをサポートする自動ウェーハハンドラが装備されています。このツールは、上部と下部の負荷フィクスチャへの接続性を提供し、ワークフローを向上させることができます。また、ミストや蒸気の発生を最小限に抑えることで汚染を低減するように設計されています。さらに、カプセル化された部品や耐腐食性材料を使用することで、加工時の汚染リスクを低減するよう設計されています。AMAT Centura DPS Metalは、低コストでプロセスの精度と再現性を向上させるように設計されています。その高性能と優れた機能により、半導体およびマイクロエレクトロニクス製造業界にとって信頼性と費用対効果の高い選択肢となります。
まだレビューはありません