中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9276067 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS金属エッチャー/アッシャーは、金属の詳細、信頼性、精密な微細加工のための高度な装置です。このシステムは、エッチングとアッシャーメタルの能力と必要な電力を組み合わせて、高精度、高精度、高生産性を実現します。このユニットは、2umから20umまでの寸法の金属フィーチャーをエッチングおよびアッシャーすることができます。AMAT Centura DPS Metal Machineは、環境に配慮したシングルサイド加工、インラインプラズマソースを使用して、金属表面のドライエッチングとRIEアッシングを行います。このツールでは、低周波電源を使用して、エッチングまたはアッシングプロセスのプラズマ環境を維持します。このプロセスは、正または負のフォトレジスト材料を使用して、2umから20umのサイズまでの機能を作成するために使用できます。金属は酸化温度に加熱され、その時点で酸素が基板に導入され、金属酸化物が生成されます。その後、金属酸化物はエッチングとアッシングのプロセスによって廃止され、それぞれの特定の製品に合わせて調整されます。チャンバー圧力、ガス化学、RF電源、プラズマ生成などのプロセスパラメータを監視し、一貫性を確保します。このプロセスは、銅、ニッケル、金、アルミニウムなど、さまざまな金属膜に使用できます。この資産には、プロセスの安定性と信頼性を確保するためのさまざまな追加機能が含まれています。これらの機能には、高度な汚染制御技術、クリーンインプレイスシステム、統合されたオートメーションモデルが含まれます。また、ポストプロセス洗浄システムやレーザーアライメントステーションなどの周辺システムとの統合も可能で、最適な性能を発揮します。このユニットは、再現性とプロセス制御のための顧客のニーズを満たすように設計されています。アプライドマテリアルズCentura DPS金属エッチャー/アッシャーは、リソグラフィ、薄膜、微細加工、3D印刷、MEMSなどのアプリケーションに最適な機械です。このツールは、高精度、高効率、再現性、および信頼性の高いプロセスにより、金属部品がこれらのアプリケーションの高い要件を満たすことを保証します。AMATは、Centura DPS Metalアセットが顧客の要求を満たしていることを確認し、高性能の金属デバイスや部品の生産を容易にしました。