中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #9293613 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metalは、シリコンウェーハの加工に特化した高度なエッチング/アッシング装置です。このシステムは、最新のプラズマ源と反応ガス供給ユニットを備えており、スラリーおよびポリシリコンエッチング製品の精密なエッチングとアッシングを可能にします。AMAT Centura DPS II Metalは、カセットに最大20個のウェーハを搭載し、優れたプロセス性能と優れた再現性を提供しながら、より大きなジョブに高いスループットを提供します。APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metalは、AGT セラミスICマシンを備えており、より高精度で信頼性の高いエッチング結果で高速な処理を可能にします。このツールには、各レシピに最適なエッチングパラメータを維持するためのインテリジェントなリアルタイムガス監視アセットが組み込まれています。AGT セラミスICモデルは、オンウェーハの均一なプラズマエッチングプロセスも提供し、高い再現性と優れたエッチング選択性を保証します。Centura DPS II Metalには、クラスをリードする1。6kW CINFプラズマ発電機が搭載されており、より高い電力効率と優れたドライエッチング結果を保証します。プラズマ発電機は、高速スループットでウェーハ表面全体に均一なエッチングを提供することができます。このジェネレータは、ウェーハ全体のエッチングの一貫性を向上させる高度な均一性コントロールも備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metalは、優れた再現性を提供し、微細構造や側面の正確なエッチングを保証するビジョン検査装置も備えています。このシステムには、汚染の可能性を最小限に抑え、ダウンタイムを低減する高度な無塵液供給装置が装備されています。AMAT Centura DPS II Metalは、最新の高性能セーフティシステムにより、ユーザーの保護に優れた安全性を提供します。このマシンは、複数の安全インターロックと自己診断を備えており、危険な状況が発生するのを防ぎ、問題が検出されたときに迅速な解決を可能にします。結論として、APPLIED MATERIALTS Centura DPS II Metalは、シリコンウェーハの加工に特化した高度で信頼性の高いエッチング/アッシングツールです。インテリジェントなリアルタイムガス監視アセットを備えており、最適なエッチングパラメータを維持し、ウェーハ表面全体で均一なプラズマエッチングプロセスを提供します。さらに、優れた保護とリスク最小化のための最新の安全システムも装備されています。
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