中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa #9286855 を販売中

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesaは、エッチング/灰プロセスに特化した生産クラスの機器です。これは、高い歩留まりと費用対効果の高い製造、および深いサブミクロン形状のために設計されています。Centura DPS IIは、最先端のパラレルデュアルビーム光学機器を備えており、高速基板加熱と正確な垂直および水平アライメントを可能にし、精密なエッチング/灰プロファイルを実現します。その光学系は6インチ×6インチの最大基板サイズを持ち、クラス1レーザーを利用しています。このユニットは、エッチングプロセスの最適化に複数のチャンバを使用していますが、インラインのダイレクトドライブマスフローコントローラは、精密なプロセス制御と最大限の再現性を保証します。Centura DPS IIは、プラズマジェネレータ、RF電源、イオン電源、ロードロック、基板搬送部品で構成されており、大気、真空、または低温処理に対応できます。プロセスコントロールモデルは、プラズマ化学および滞留時間のリアルタイム最適化を可能にするようにプログラム可能であり、精密かつ再現可能なエッチング/アッシング結果を可能にします。DPS IIは、制御ソフトウェアであるADVANTEdge Control Softwareを搭載しており、最適なエッチング性能を維持するために自動調整する機能を備えた機器の完全かつリアルタイム監視を提供しています。また、エッチング/アッシュ用に最適化された事前にプログラムされたレシピを備えているため、簡単に処理でき、オペレータが保存してアクセスできるプロセスレシピのライブラリがあります。このマシンは、効果的で強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであるように設計されており、最高レベルのエッチング均一性と優れたプロセス再現性を提供します。DPS IIは、プロトタイプと生産レベルの両方のアプリケーションに使用でき、ハイエンドICおよびRFコンポーネントの製造に最適です。