中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS #293603771 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPSは、プラズマ強化ディープエッチング（pdeeper）エッチャー/アッシャーです。金属や誘電体の急速で精密で再現性のあるエッチングに使用されます。このツールは、高い耐性や化学制御を必要とするものを含め、幅広い用途に対応できる汎用性の高いエッチングシステムです。AMAT Centura AP DPSは、金属や誘電体を含む幅広い材料を扱うように設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。チャンバーサイズは12インチ×12インチで、大型基板の加工が可能です。このシステムにはデュアルステージプラズマ源もあり、あらゆるアプリケーションでさまざまなエッチングパラメータをプログラムすることができます。統合された冷却ループはエッチングチャンバーを一定温度に保ち、最大の再現性を確保します。APPLIED MATERIALS Centura AP DPSは、業界をリードする次世代ウェーハトレーニング技術を使用して、0。10ミクロン以上の精度でマイクロパターンを正確にエッチング、カット、刻印、マークすることができます。また、プロセス制御の強化と比類のない再現性のために設計されています。自動化されたウェーハトレーニング、アライニング、位置決めは、高精度と信頼性を提供し、より正確で一貫したエッチング結果を得ることができます。Centura AP DPSには、高度なCentura ASCテクロン調整可能な電源と優れたカソード放電中和のためのフィールドニュートラライザーコイルも付属しています。これらの機能はすべて連携して、均一性と精度のためのクリーンで効率的なエッチングを提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPSは、エッチングとアッシングの各ステップに必要な電力のみを使用して、エネルギー効率が良いように設計されています。高度なモニタリングおよびフォールトトレランスシステムは、最大の信頼性とパフォーマンスを保証します。オプションのスートフィルターは、排気ガスのストリーム内の粒子をトラップするのに役立ちます。最後に、組み込みの安全機能は、マシンが常に安全で業界の規制に準拠していることを保証します。結論として、高度な機能を備えたAMAT Centura AP DPSは、高速で信頼性の高い再現性の高いソリューションをユーザーに提供する高性能エッチャー/アッシャーです。高精度と再現性を確保し、優れたプロセス制御を実現する多数の機能を備えています。さらに、エネルギー効率に優れた設計により、コストを削減し、最も要求の厳しいエッチングアプリケーションに必要な信頼性と柔軟性をユーザーに提供できます。