中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MINOS #293625377 を販売中

ID: 293625377
ウェーハサイズ: 12"
Etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MINOSは、今日の半導体および加工業界の要件を満たすように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。この高性能システムは、優れたスループットを提供し、優れた結果を提供するために洗練されたプロセスチャンバーで構成されています。AMAT Centura AP DPS MINOSは、高度なプラズマ技術を搭載し、高い精度と制御性でウェーハを処理します。これにより、エッチングおよびアッシングプロセスで最高品質を保証し、プロセスの再現性と信頼性の最大レベルを提供します。円形や長方形など様々なサイズの基板を加工するように設計されており、高アスペクト比の基板エッチングが可能です。MINOSには、プロセスガスインジェクタを使用した高度なプロセスチャンバーが装備されており、正確な間隔でプロセスチャンバーにガスを注入することで、エッチングとアッシングのプロセスをより大きな制御できます。この高度のガス注入装置機械はユーザーがプロセス圧力、温度および流動度を制御することを可能にしますユーザーに制御および柔軟性のより大きい程度を与えます。Centura AP DPSは複数のプロセスモニタリングセンサーを採用しており、圧力、温度、流量などのプロセスパラメータを監視し、プロセスを最適化するための調整を行うことができます。このツールには、プラズマエッチング処理をより均質化するための二次プラズマ源も組み込まれています。APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MINOSのユーザーインターフェイスは直感的に設計されており、ユーザーはプロセスアラームの監視、プロセスデータのレビュー、エッチングとアッシングサイクルの実行、レシピの管理が可能です。ユーザーインターフェイスは、ガス配送やマッピングなどの高度な機能も提供しており、エッチングとアッシングプロセスをより大きな制御できます。Centura AP DPS MINOSは、歩留まりの向上、コストの削減、エッチングとアッシングプロセスの効率化を実現します。このアセットはまた、プロセスの再現性の高いレベルを提供します、ユーザーは、すべてのエッチング/灰サイクルと一貫した結果を生成することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MINOSは、優れたスループット、制御、精度を提供する高度なエッチャー/アッシャーモデルです。
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