中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MINOS #293625373 を販売中

ID: 293625373
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MINOSドライストリップアッシャーは、基板や薄膜のドライエッチング用の機器です。この高度なエッチングシステムは、今日市場で入手可能なすべてのドライエッチングユニットの最高の均一性を提供します。独自の設計により、優れた均一性と再現性を備えた大面積のエッチングを迅速かつ効率的に行うことができ、多数の薄膜成膜、エッチング、パッシベーション用途に費用対効果の高いソリューションを提供します。AMAT Centura AP DPS MINOSは、産業用グレードのプラズマソースと高度なプロセス制御技術を使用して、非常に均一で反復可能なプロセスを実現します。エッチング処理は、PLCに接続されたプログラマブルコントローラによって制御されます。これにより、プロセスパラメータとタイミングが常に一貫しているため、厚みが均一になり、エッチングやアイテムのエッチングを最小限に抑えられます。高エッチングの均一性は、エッチングされる基板のタイプに最適化されるように、機械に統合された高度なウェハパターニングアルゴリズムによってさらに強化されます。このツールはまた、安全機能の完全な範囲を備えています。これらには、保護された電源、磁気シールドされたプロセスチャンバー、および製造元のガイドラインに従ってプロセスが安全に動作していることを確認するためのさまざまなアラームとモニターが含まれます。APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MINOSは、現在入手可能なすべてのドライエッチング資産の最高のエッチング均一性を提供します。インラインプロセス監視を含む高度なプロセス制御技術は、再現性、信頼性、品質を保証します。その洗練されたウェーハパターニングアルゴリズムにより、エッチングされる特定の基板に対してプロセスが最適化されます。さらに、このモデルの安全機能は、プロセスが安全に実行されていることを保証します。この高度なエッチング装置は、多数の薄膜成膜、エッチングおよびパッシベーション用途に費用対効果の高いソリューションを提供することができます。
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