中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MESA #293625378 を販売中

ID: 293625378
ウェーハサイズ: 12'
Etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MESAは、超高真空(UHV)技術と低真空技術の両方で、エッチング、成膜、および表面処理プロセスの範囲を実行するように設計されたエッチャー/アッシャー装置です。ウェーハのエッチング、成膜アプリケーション、リフトオフプロセス、MEMS/MOEMSデバイス製造などのプロセスに適しています。このシステムはケミカルエッチング用に構成されており、ウェーハまたはウェーハバッチごとに最適なエッチング処理を選択できます。また、高い精度を保証するために、安定性の高いガス供給ユニットと専用の角度静電ビーム源を備えています。その高度なソフトウェアコントロールは、エッチングプロセスを厳密に調整し、各プロセスごとに最大の歩留まりを維持する機能を提供します。これにより、ユーザーはバッチレベルでレシピをカスタマイズして目的の結果を得ることができます。このマシンは、ツールの簡単なセットアップと操作を可能にするユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。また、複数の分析および監視機能を備えており、エッチングプロセスのリアルタイム監視を可能にします。これは、エッチングプロセスを費用対効果の高い方法で最適化する場合に特に役立ちます。さらに、エッチングプロセスのパフォーマンスを最大化するための高度な後処理機能を提供します。これらの後処理機能には、リークテスト機能、ファセットスケーラビリティ、およびインプロセスエッチレート/深度測定が含まれます。AMAT Centura AP DPS MESAは、複数のローディング構成を使用でき、直径8インチまでの幅広い基板に対応できます。さらに、このモデルは様々なガスで使用するために評価されており、幅広い分野の包括的なカバレッジを持っています。また、安全で適切な使用を確保するために、SEMI-S2やF2などの多くの安全および環境基準と互換性があります。結論として、APPLIED MATERIALTS Centura AP DPS MESAは、エッチング、成膜、表面処理の幅広いプロセスに適したエッチャー/アッシャー機器です。その高度な機能と機能は、効率的で費用対効果の高い方法で所望の結果を達成するための理想的な選択肢となります。
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