中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Poly #293619612 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Polyは、信頼性が高く高度なアッシャー/エッチャツールです。これは、基本的なポリマー、金属、誘電体から、より複雑で壊れやすい基板まで、非常に幅広い材料をエッチングまたはアッシャーするように設計されています。このツールは、簡単な操作、より大きなプロセス制御を可能にし、所有コストを削減するために特別に設計されています。AdvantEdge G5 Polyは、正確に駆動された高速かつ高スループットガスフローを実現するダイレクトガス射出装置を使用しています。ガスの流れは調節可能であり、処理される基質に必要な正確なエッチングまたはアッシング条件を提供するようにプログラムすることができます。また、ウエハ全体にガスとプラズマの種を極めて均一に堆積させるための高度な堆積源技術を利用しています。G5 Polyには、精密なエッチングまたはアッシングプロセスを可能にする包括的なプロセス制御システムも組み込まれています。このユニットは、ウェーハの正確な温度と圧力制御だけでなく、基板全体に均一で反復可能な化学濃度勾配を提供します。これにより、エッチングまたはアッシング中のリスクを劇的に低減し、結果の精度と再現性を劇的に向上させます。AdvantEdge G5 Polyは費用対効果が高く、非常に信頼性が高いため、所有コストを劇的に削減できます。このマシンはメンテナンスが容易に行えるように設計されており、関連する消耗品が容易に入手でき、所有コストをさらに削減できます。AdvantEdge G5 Polyも低消費電力で運用コストを削減します。全体として、AdvantEdge G5 Polyは優れた高度なアッシャー/エッチャーツールです。その高品質の構造、精密な制御、広いプロセスウィンドウ、蒸着の正確な均一性、および迅速なプロセススピードにより、現代のプロセス開発、研究、製造アプリケーションにとって貴重なツールとなります。