中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #293802316 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly Etcher/Asherは、半導体、太陽電池、その他の先端材料の製造に使用される化学加工機です。これは、信頼性が高く、費用対効果が高く、リソグラフィ、エッチング、クリーニングを1つの機器に組み合わせる完全なシステムです。ポリシリコン、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化物、銅などの金属を石英、シリコン、ガラスなどの基板にエッチングすることができます。AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly Etcher/Asherには、他のエッチングおよびアッシングマシンよりも優れたユニークな機能がいくつかあります。メサチャンバーは、化学スループットへの継続的な応答を可能にするように設計されており、より高い収率とより良いプロセス性能を提供します。プラズマオプションは、優れたプロセス制御と汎用性を提供し、ユーザーにエッチングの選択性と均一性を最適化する機能を提供します。このエッチャー/アッシャーは、エッチング処理全体にわたって高い精度を提供します。これは、重要なエッチングアプリケーションの典型的なビームフォーカスエラーを修正する精密光学システムを内蔵しています。高度なプロセス制御により、正確な基板アライメントと層構成制御が可能になり、精密なエッチング結果を保証します。etcher/asherは使いやすいインターフェイスを備えており、ユーザーはプロセスを一目で監視および制御することができます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)により、オペレータは最小限の労力でプロセスを簡単に設定、実行、監視できます。機械にまた危険な発煙および材料から装置および人員を保護する多数の安全特徴があります。機械は優秀な信頼性および稼働時間を提供する上限の部品から造られます。また、エッチングチャンバーの清浄度を維持し、ダウンタイムを最小限に抑え、歩留まりを改善するように設計されています。また、エッチャー/アッシャーには、エッチングプロセスに関するリアルタイムデータを提供する数多くの環境モニタリングシステムが装備されています。これにより、各エッチングが最高水準で行われるようになります。
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