中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris #293605046 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Centrisは、半導体デバイス製造用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。パターン化されたウェーハの深いプラズマエッチングに使用されるハイエンドツールです。このエッチャー/アッシャーは、シリコン、化合物半導体、ポリイミド、セラミックなどの幅広い材料に対応するように特別に設計されています。このツールは、高品質のプラズマを作成し、維持する通電イオンとラジカルの両方を使用しています。装置の高レベルのエネルギー制御は、高品質の製品をもたらす精密な反復可能なプロセスをもたらします。このシステムの主な特徴は、マルチプラズマとシングルプラズマの両方のソースを使用してプラズマを作成することができる高度な電源供給ユニットです。この機能により、ユーザーはウェーハ表面に希望のパターンを作成するためにエッチング処理を強化しました。さらに、このマシンは、さまざまなウエハ構成を可能にする幅広いプロセス排気ソリューションを備えています。このツールには、漏れ検出、健康および安全警告、自動シャットオフなど、すべてのシステムに含まれるいくつかの安全機能も含まれています。さらに、この資産にはVCR記録機能が含まれており、ユーザーはプロセスをレビューして分析することができます。最後に、このモデルにはフォールトトレランス機能が搭載されており、サブシステムのいずれかが故障した場合でも動作を継続できます。AKT Centrisは、半導体デバイス製造業界で最も厳しい技術要件を満たすように設計された先進的な機器です。高度な制御システム、高レベルのエネルギー制御、幅広い排気ソリューション、広範な安全対策により、ユーザーの製品の最高品質と安全性を保証します。