中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris #293596832 を販売中
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販売された
ID: 293596832
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2015
SYM3 Etcher, 12"
Controller
(2) Racks
Main AC
System controller
Power supplies
(6) Chambers:
Chamber A1
Chamber A2
Chamber B1
Chamber B2
Chamber C1
Chamber C2
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Centrisは、金属、半導体、プラスチックなど、さまざまな材料のパターンや構造を作成するために設計されたエッチャー/アッシャーの一種です。これは、リソグラフィ、ドライエッチング、ウェットエッチング、およびCVD技術の組み合わせを使用して行われます。AKT Centris装置は堅牢で信頼性が高いように設計されており、オペレータは高いレベルのプロセス整合性を達成することができます。大型の物体を取り扱うことができる大型で簡単にアクセスできるチャンバーを備えています。チャンバーには強力なRFおよびDC電極と大型真空システムが装備されています。付属のソフトウェアにより、オペレータはチャンバーパラメータを簡単に調整することができます。このユニットは、RIE(反応イオンエッチング)とICP(誘導結合プラズマ)の2つのエッチング技術を使用しています。RIEは、プラズマベースのエッチング手法で、高エネルギー粒子爆撃を使用して材料をエッチングします。ICPは電磁界を利用してイオン化プロセスを制御するプラズマベースのエッチング技術です。AMAT Centrisは複数の材料を一度にエッチングすることができ、迅速かつ効率的な操作が可能です。エッチング率が高く、最大3ミクロンの機能サイズで作業できます。また、導波路加熱機やガス混合機能などのオプション機器も備えており、幅広い用途に適しています。このツールは、学術研究所から大規模な工業生産ラインまで、多くの業界で実績があります。その汎用性と信頼性は、多くのエッチング要件の中で人気のある選択肢となっています。オートメーションのレベルが高いため、使用がさらに簡単になり、オペレータに関連するエラーの量を減らし、高い再現性を確保できます。全体として、APPLIED MATERIALS Centrisは信頼性が高く効率的なエッチャー/アッシャーであり、さまざまな業界のニーズを満たすことができます。その堅牢な設計と機能の誤りは、生産、研究、およびその他のエッチング用途に最適です。
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