中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris SYM3 #293764445 を販売中

ID: 293764445
Etcher (3) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centris SYM3は、高いスループットと高精度のウェーハ処理を提供するために開発された高度なエッチャー/アッシャーです。精密エッチング、クリーニング、フライス加工機能と、高度な蒸着およびウェーハ試験機能を組み合わせています。この装置は、4つの独立したエッチングモジュールで最大のスループットと精度を提供する独自の4ヘッドプラットフォーム上に構築され、統合されたシステムを形成します。単位全体は正確なエッチングの深さを提供することに加えて酸化物および非酸化物材料を含む材料の広い範囲の一貫したエッチングを提供するように設計されています。このマシンはまた、プロセス精度を向上させる自動フィーチャー認識技術を提供しています。このツールは、シリコン、ガラス、カーボンなどのさまざまなウエハ基板や、異なる厚さのフィルムをサポートし、MEMS、薄膜トランジスタ、フォトレジストパターニングプロセス、高度な接触および相互接続アプリケーションで使用することができます。ウェーハは様々な地形でも扱えるため、幅広い用途に適しています。AMAT Centris SYM3は、自動テープ処理、サンプルおよびチャック位置決め機能、ウェーハステップダウン機能など、幅広いハードウェアおよびソフトウェア機能を提供しています。このモデルはまた、優れたエッチング均一性と精度のためのマルチゾーンプロセスチャンバーを備えています。この機器は高度に自動化されており、プロセスを監視および制御するための簡単で直感的なユーザーインターフェイスを提供します。これにより、予測ランピング制御とともに、ユーザーはエッチング技術をすばやく切り替えることができ、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。このシステムは、最高の安全基準を満たすように構築されており、関連する業界および政府の要件に準拠しています。RoHS準拠であり、最適な結果を保証し、オペレータの安全を保護するために定期的にテストされています。要約すると、APPLIED MATERIALS Centris SYM3は、幅広い材料で一貫して正確なエッチング/クリーニング/フライス加工を実行するように設計された強力で高精度なエッチャー/アッシャーです。これは、最高の安全基準を満たすように設計されており、自動テープハンドリング、サンプルおよびチャック位置決め機能、ウェーハステップダウン機能、マルチゾーンプロセスチャンバーにより、幅広いアプリケーションに適しています。
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