中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris SYM3 #293627020 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS Centris SYM3は、キャリアに登録された様々な基板上の優れた構造とパターンを生成するように設計された高度なエッチング/灰の装置です。このシステムは、経済的な作動の柔軟性と電気機械システムの速度を利用した高度で高性能なアーキテクチャに基づいて構築されています。このユニットは、直径8インチまでの基板サイズに対応でき、10気体以上のガス制御機能を備えており、ディープシリコンエッチング、高密度プラズマエッチング、レジスト除去、差動除去など、さまざまなプロセスを可能にします。機械はまた、ユーザーが複雑なカスタム構造やパターンを生成するためにツールを構成することができ、本質的に非常にモジュール化されています。AMAT Centris SYM3は、高解像度の画像転送メカニズムと高性能なオートフォーカス資産を備えており、優れたプロセス再現性と歩留まりを実現します。このモデルはまた、汚染やその他の運用上の問題による機器の故障のリスクを最小限に抑えるために、さまざまな最先端の安全プロトコルを提供しています。アプライドマテリアルズCentris SYM3には、プロセス性能を最大化するために流量と圧力のバランスをとるクローズドループ・プロセス制御システムが装備されています。このユニットは、独自のソフトウェアパッケージを使用して、レシピの制御と監視を自動化するだけでなく、エッチングプロセスのグラフィカルな表現を提供して、オペレータがプロセスを理解して最適化するのに役立ちます。この技術により、現在のプロセスを停止して再ロードすることなく、複数のエッチング/アッシュプロセスレシピをオンザフライで実行でき、スループットと再現性が向上します。Centris SYM3は、さまざまな用途に最適な強力なエッチングマシンです。このツールのオープン仕様は高い柔軟性を提供し、運用環境に最適なアセットを構成できます。高品質のイメージングおよびクローズドループのプロセス制御モデルにより、歩留まりと再現性が向上し、ユーザーはより少ない時間と労力でより良い結果を達成することができます。