中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT #293637109 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT
ID: 293637109
ウェーハサイズ: 12"
Etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GTは、半導体、MEMS、および微細加工業界で使用される高性能エッチャー/アッシャー装置です。シリコン、スチール、アルミニウムなど幅広い素材を精密にエッチングできるように設計されています。このシステムには最適化されたガスユニットが装備されており、プロセス制御と柔軟性を強化できます。AMAT Centris AP AdvantEdge GTは、多段式エッチングプロセスを使用して精密な結果を保証します。エッチングのためにエッチングする材料を準備する前処理ステップから始まります。これに続いて、プロセスチャンバーにガスを導入し、外部に取り付けられたイオン源から高出力プラズマを適用することを含む主要なエッチング工程が続きます。このプラズマは、基板から材料をエッチングするために使用されます。APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GTは、ハイアスペクト比エッチング用途で平面サーフェスと非平面サーフェスの両方を処理できます。このマシンは、最大20:1の超高アスペクト比エッチング結果を達成するように設計されています。また、高度なディープトレンチングアプリケーションにも使用できます。このツールは高度に自動化されており、ロードロックやマスフローなど、いくつかのプロセス監視モードを提供しています。これにより、エッチングプロセスが正確に制御され、監視されます。Centris AP AdvantEdge GTは、深度センサ技術を使用してエッチング深度を測定することもでき、目的のエッチング深度を確実に達成できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GTアセットは、プロセスの信頼性と再現性を最適化するために最適化されています。堅牢な素材互換性により、幅広い素材をより高い精度でエッチングできます。さらに、ユーザーがその実行中にモデルをクリーニングすることができますその場でクリーニング機能を持っています。結論として、AMAT Centris AP AdvantEdge GTは、幅広い材料の精密エッチング用に設計された高性能エッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、超高アスペクト比エッチングおよびディープトレンチングアプリケーションに多段エッチングプロセスを使用しています。自動化されたプロセス制御により、精度、プロセスの信頼性、再現性を向上させます。APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GTは、堅牢な材料互換性を備え、半導体およびMEMS業界にとって理想的なエッチングソリューションです。
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