中古 AMAT / APPLIED MATERIALS AME 8100 #9178965 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8100は、基板表面から材料を確実かつ正確に除去するように設計されたアッシャー/エッチャーです。エッチング工程では、臭化水素、塩化水素、SF6など多種多様なエッチングガスを使用しています。最先端のEnduraハードウェアとソフトウェアを統合し、エッチングプロセスの重要な温度、圧力、ガス組成制御を実現します。このシステムは、ウェーハ基板の直径8インチまでのシリコン、ヒ素ガリウム、酸化ケイ素などのさまざまな材料を処理することができます。AMAT AME 8100は、プロセスパラメータを正確に制御し、望ましいエッチング速度と均一性を提供します。リアルタイムプロセスモニタリングにより、再現可能な温度制御とエッチングガスへの基板の均一な露出を維持します。制御可能な拡散およびリモートエッチング構成を備えており、デバイスジオメトリの完全な適用範囲を確保します。プロセス制御に加えて、このマシンは柔軟な基板ローディングオプションと革新的な片面および両面etchbatchローディング機能も提供します。アプライドマテリアルズAME 8100は、高いスループットと低粒子の生成により、優れたプロセス均一性を提供します。特殊エッチング要件のために、このツールは精密マスクコーディング機能とさまざまな特殊エッチングプロセスガスを提供します。このアセットには、プロセス実行ログ、プロセスのトレーサビリティ、エッチプロセスを最適化するための自動レシピ管理などの追加機能も統合されています。結論として、AME 8100は、さまざまな材料を処理するために設計された信頼性が高く正確なエッチャー/アッシャーです。高度な温度、圧力およびガス組成制御、リアルタイムプロセスモニタリング、特殊なプロセスガス、プロセス実行ロギングやトレーサビリティなどの追加機能を備えています。優れたプロセス均一性と低粒子生成により、AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8100は、エッチングのあらゆるニーズに確実に対応します。