中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8336 #9250132 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8336エッチャー/アッシャーは、さまざまなエッチング、クリーニング、アッシングプロセス用に設計された多目的機器です。このシステムは、最新のRFプラズマ技術を使用しており、最高レベルの均一性と再現性を提供し、厳格なプロセス制御と高速サイクルタイムを可能にします。このユニットは、RFジェネレーター、アッシャーヘッド/タワー、チャンバー/プロセス容器、プロセスガス、真空装置など、いくつかのコンポーネントで構成されています。AMAT 8336の高度なRFジェネレータは、アッシャーヘッドにプロセス電源を供給し、エッチングおよび洗浄プロセスに必要なプラズマを効率的に作成します。チャンバー/容器はウェーハ基板を保持し、アッシャーヘッドとプロセスガスを汚染から保護します。ユーザー制御のプロセスガスは、アッシャーヘッドによって制御されたノズルを介して基板の適切な領域をコーティングします。アプライドマテリアルズ8336の真空装置は、基板チャンバのすべてのコンポーネントを包含し、真空環境を維持し、高速サイクルタイムに貢献します。8336は、シリコン、ポリシリコン、ガラス、低k誘電体、金属、レジスト、酸化物、窒化物など、さまざまな材料をエッチングして洗浄することができ、精密加工が可能です。独自のクロスラダーテクノロジーにより、エッチングの均一性が極めて高いスループットをサポートします。さらに、100：1までの高アスペクト比エッチングを実現し、より高度なプロセスアプリケーションに最適です。また、現場のガスアナライザ、エンドポイント検出、ウェハマッピングなど、さまざまなプロセス監視機能を備えており、ユーザーはエッチング/アッシングプロセスを完全に制御できます。さらに、インテリジェントに制御されたツールは、人件費を最小限に抑え、生産プロセスのボトルネックを低減するのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8336エッチャー/アッシャーは、高いスループット性能で正確かつ再現可能なエッチングおよび洗浄結果を達成することができる、信頼性の高い汎用性の高い資産です。その優れたプロセス制御、高度な技術、および監視機能は、ユーザーが最高品質の結果を保証しながら、時間とコストを節約するために組み合わされています。