中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8336 #9226747 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asherは、様々な材料から望ましい形状とサイズのナノ構造を作成する目的で半導体および電子機器メーカーによって使用される機器です。この装置は、金属、ポリマー、レジスト材料、および誘電体から構造を生成することができます。AMAT 8336エッチャー/アッシャーは、深い反応性イオンエッチング（DRIE）と異方性エッチングを含む、2つの主要なエッチング技術を実行できます。DRIEエッチングを実行する能力は、エッチング中の高い選択性のために、MEMS（マイクロ電気機械システム）およびマイクロ流体の製造において重要です。異方性エッチングは、エッチングプロセスの圧力、温度、エッチングガスの使用などのパラメータの組み合わせを制御することにより、制御可能なエッチング速度を提供します。応用材料8336 エッチャー/Asherは2つの主要な部屋で構成されます；エッチング用の下部プラズマチャンバーとウェーハを収容するための上部ロードロックチャンバー。下部のチャンバーには、ファラデーシールドを使用して、アークなどのプラズマ関連の問題からウェハを保護します。また、セラミックセパレータを備えており、最大5x10-5 Torrのプロセスチャンバ真空を維持するのに役立ちます。上部チャンバーは最大15個のウェーハを保持することができ、正確なウェーハの積み降ろしのための温度制御カセットを備えています。8336エッチャー/アッシャーは、エッチングに3段階のプロセスを使用し、ウェーハにフォトレジスト層を塗布し、希望するデザインをパターン化し、深い反応性イオンエッチング（DRIE）または等方性エッチング処理のいずれかを使用してエッチングします。プロセス中に、酸素、フッ素、窒素などの様々なガスが使用され、0〜300ワットの間で調整可能なRFパワーと組み合わせて混合されます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asherは、プロセスチャンバー内の温度を監視および調整するインテリジェントな温度制御システムを備えており、操作全体で均一な加熱を保証します。このシステムには過熱保護機能も含まれており、過度の温度上昇の場合にエッチング処理を中止するように設定することができます。AMAT 8336 Etcher/Asherには、エッチング処理中の監視用の表示ウィンドウなどの結果の精度と品質を向上させるために設計された追加のコンポーネントと、再現可能な結果のための以前のプロセス設定を保存する機能が含まれています。また、アプライドマテリアルズ8336エッチャー/アッシャーは、ANSI/IEEE/UL-CSA-499、 UL-60079、 NFPA70などの複数の安全基準に対応しています。これらの機能と安全性に関する考慮事項はすべて、8336 Etcher/Asherをエッチングおよびアッシング操作のための信頼性が高く効率的な選択肢にするために組み合わされています。