中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330A / 8330 #9276839 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALIES 8330A/8330は、製造業務で使用されるエッチャー/アッシャーです。エッチングやアッシングプロセスにおいて優れた性能を発揮する、費用対効果の高いハイスループット機器です。このシステムは複数のアプリケーションを同時に処理するように設計されており、1回の操作で最大8つのウェーハ容量が可能です。この機械には高度な真空ユニットが装備されており、すべてのエッチングおよびアッシングプロセス作業のための正確な温度とプロセス制御を可能にします。エッチングマシンとして、AMAT 8330A/8330には金属用と絶縁エッチング用の2つのメインチャンバーがあります。金属エッチングチャンバーは、反応イオンエッチング（RIE）機能を利用した優れた異方性エッチング結果を提供します。さらに、内蔵の自動温度コントローラにより、チャンバー圧力、温度、ガス流量、RF電力の精密制御が可能です。絶縁エッチングチャンバーは、熱安定基板のエッチングを可能にする誘導結合プラズマ（ICP）源で構成されています。自動化されたサーマルコントローラは、すべてのエッチング操作に対して正確な温度とプロセス制御を提供します。さらに、このツールには高度なクラス1000のウェハハンドリングアセットが装備されており、高速なウェハローディング、アンロードと操作、および時間節約のウェハアライメントを提供します。アッシング機能の面では、アプライドマテリアルズ8330A/8330モデルは、単一のチャンバー構成を備えており、高速かつ効率的なアッシングプロセスを可能にします。このチャンバーには、石英ボートと組み込みの自動温度コントローラが装備されており、アッシングプロセスを正確に温度制御できます。これは、プロセスの均一性、再現性、および歩留まりの向上に貢献します。この機器には、不具合の迅速なトラブルシューティングを可能にするプロセス障害診断も含まれています。全体的に、8330A/8330は強力でハイスループットエッチングとアッシングシステムです。その高度な機能により、このユニットは、すべてのエッチングおよびアッシング手順で可能な限り最良の結果を達成するための正確な温度とプロセス制御を提供します。それはさまざまな企業の高度のashingおよびエッチングの適用のための理想的な解決です。