中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9365711 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330は、最も困難なエッチングおよびアッシング要件向けに特別に設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。反応イオンを使用して、シリコンウェーハ、MEMS、イメージング、ディスプレイなどの基板に精密なエッチングとアッシングを実現します。AMAT 8330には独自のプロセスセットポイント最適化（PSO）機能があり、プロファイルの均一性、再現性、再現性、エッジ曲率、再現性などのエッチングプロセスパラメータをより適切に制御できます。エッチング工程での均一性と安定性を確保するため、アプライドマテリアルズ8330には一連の自動温度制御機構が搭載されています。8330は、プロセス要件に応じて、1時間あたり最大200ウェーハのスループットを備えています。また、高精度、高密度、高選択性エッチング処理に優れた非反応性チャンバーを装備しています。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330では、プロセス条件の最大化とスループットの高速化を支援するために、アップレベルのレシピを組み込んだユーザーフレンドリーなグラフィックユーザーインターフェイス（GUI）も提供しています。AMAT 8330は、ポリイミドなどの薄層をはじめ、厚みの異なる基板にも対応可能です。また、同一層積層で基板を加工しても一貫した結果が得られるよう、O2-free処理を改善するための窒素パージ装置を備えています。アプライドマテリアルズ8330は、全自動ウェハハンドリングシステムと直径8インチまでの基板用クイックロックチャック技術を提供します。また、統合ビジョンユニットを備えており、プロセス制御を強化するための自動ウェーハアライメントと監視を可能にします。エンジンは、効率的な冷却とエッチングのための高圧統合を処理することができます。また、チャンバーレシピに適応し、マルチステッププロセスでのプロセス最適化を向上させます。8330エッチャーとアッシャーは、高度なエッチングとアッシングのための効果的で信頼性の高いツールです。その洗練されたデザインは、正確で反復可能で再現性のある加工結果を提供します。さらに、その大きなスループットと統合ビジョンマシンは、複数の層スタックを持つシリコンウェーハと基板の効率を最大化する最適な方法を提供します。