中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9269145 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330は、材料や精密機能をエッチングすることが最も困難なエッチングに特化した高性能プラズマエッチングです。AMAT 8330は、化学反応（エッチング）化学の広い範囲を有する高度な可変周波数ICP （Inductively-Copled-Plasma）源を利用しています。これにより、追加のツーリングやセットアップを必要とせずにほとんどの材料をエッチングすることができます。アプライドマテリアルズ8330エッチャーコントロールは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、オペレータはさまざまな素材や機能のカスタムエッチレシピを作成できます。エッチャーは、フォトリソグラフィープロセスのための様々なパターンや形状を作成するために使用することができます。8330には、プラズマ化学のフィードバックを提供する高度な高分解能質量分析システムが装備されています。このシステムは、プラズマ化学を監視し、エッチングチャンバー全体の均一性を確保するために電力レベルを調整します。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330はまた、生産における一貫したエッチング結果を保証するために高い再現性レートを備えています。AMAT 8330の組み立てられたチャンバーは、エッチングに優れた機械的および振動特性を備えた低温、低圧、クリーンな環境を提供するように設計されています。さらに、チャンバーはリークフリーで、適切なウエハボンディングのための優れた表面仕上げを備えています。アプライドマテリアルズ8330は、8インチウェーハまでの幅広いサイズのウェーハサイズに対応できます。これにより、大量生産のためのスケーラブルなエッチング操作が可能になります。8330はまた多くの従来のぬれたエッチングプロセスに優秀である200nmとして薄いエッチングが可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330の総所有コストは、市場の他のエッチングシステムと競争力があります。このシステムはまた、幅広い環境で動作するように設計されており、大きな外部ユーティリティのサポートを必要としません。