中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9210300 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330は高精度エッチャー/アッシャーです。それは材料の表面にパターンを正確にエッチングすることができます。エッチングは、材料の浅い層が除去され、下層に所望のパターンを残す減算処理です。AMAT 8330は、プラズマエッチングを使用して、指定されたパターンの材料を除去します。アプライドマテリアルズ8330で使用されているプラズマエッチング技術は、6「×6」または150 mmまでの基板処理が可能で、小型部品の精密エッチングが必要なアプリケーションに最適です。エッチャーは、複数の基板を一度に処理することもでき、シリコン、ヒ素ガリウム（GaAs）、リン化インジウム（InP）などの材料をエッチングするために使用することができます。エッチングは、ウェットまたはドライテクニックを使用して行うことができ、様々な形状やサイズを特徴とすることができます。8330はまた、スパッタエッチング、浅いトレンチ分離（STI）、バリアサイドウォール埋め込みなどの高度なプロセス技術を実行する能力を持っています。これらの技術は、エッチングされる材料が一貫した均一なプロファイルを持つことを保証するのに役立ちます。さらに、エッチャーは数ミクロンから多くのミリ秒まで、幅広いエッチレートを備えています。また、酸素、水素、ヘリウム、窒素、二酸化炭素、その他の不活性ガスを含む幅広いプロセスガスもあります。この機器は、ツールの可用性に関しても非常に効率的です。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330は、複数のレシピを単一で処理するように設計されており、プロセス要件の変更に対応するために簡単に変更することができます。さらに、その自動化されたインタフェースにより、システムを生産環境に簡単に統合でき、圧力、温度、電圧、ガスの流量レベルの広い範囲で複数のアプリケーションに合わせて調整することができます。最後に、AMAT 8330は、エッチングプロセスの偶発的な活性化を防ぐ冗長安全インターロックユニットを備えているため、安全性も考慮しています。この機械はプログラム可能なタイマー、ガスおよび真空センサーおよびプロセスが始まる前に締まることができる連結スイッチを含んでいます。これにより、マシンが使用されている間にセキュリティの余分な層を可能にします。結論として、アプライドマテリアルズ8330エッチング/アッシャーマシンは、さまざまな表面材料にパターンや形状をエッチングおよびアッシングするための高精度ツールです。高度なプロセス技術、複数のプロセスガスオプション、安全対策を備えたこのエッチャーは、幅広い用途に最適です。