中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9184414 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330エッチャー/アッシャーは、シリコン、金属、ポリマー、ガラスなどのエッチングおよび灰に使用される包括的で費用対効果の高いツールです。この装置は、半導体、MEMS、医療、オプトエレクトロニクス、自動車産業におけるウェーハの効率的かつ正確なエッチングまたはアッシングを提供するように設計されています。AMAT 8330エッチャー/アッシャーは、シリコン、二酸化ケイ素、金属、金属酸化物、エッチングストップ材料、不動態化酸化物、およびはんだマスクを含むさまざまな基板の高性能エッチング、クリーニングおよびアッシングを提供します。フォトレジスト素材との互換性があり、基材の損傷や変色がなく、鋭い垂直プロファイルで幅広いアスペクト比パターンをエッチングするように設計されています。このシステムは、反応イオンエッチング（RIE）、無線周波数エッチング（RF）、超浅いジャンクション（USJ）のエッチングのためのマルチステップエッチングなどの高度なプロセスを備えています。アプライドマテリアルズ8330エッチャー/アッシャーは、独立したプロセスガスフロー制御を備えた大型プロセスチャンバーにより、ウェハ全体に高い再現性と優れた均一性を提供します。また、ウェーハの熱損傷を低減し、複数の材料の均一なエッチングを保証する内部冷却装置を備えています。このツールは、欠陥のためにエッチングされている材料を検査するための統合ビジョンアセットを備えています。8330エッチャー/アッシャーは、ハイスループットと高品質の結果を得るために設計されており、最大5つのウェーハを同時に自動処理できます。このモデルの高度なソフトウェアは、ユーザーが最適なエッチング速度、再現性、および品質管理のためにプロセスパラメータをカスタマイズすることができます。装置は容易な維持および低い操業費用を可能にするように設計されています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS 8330エッチャー/アッシャーは、半導体、MEMS、医療、オプトエレクトロニクス、および自動車産業の材料に複数のエッチングおよびアッシング技術を提供する費用対効果の高い精密ツールです。広いアスペクト比パターンの反応イオンエッチング、熱冷却システム、高スループット機能、自動メンテナンスなどの高度な機能を備えたこのユニットは、費用対効果の高いエッチングまたはアッシングソリューションをお探しの方に最適です。