中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293652763 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 293652763
ウェーハサイズ: 6"
Etchers, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 (AMAT 8330)は、集積回路、薄膜トランジスタなどの製造に使用されるエッチング/アッシャー装置です。これは、シリコン、タングステン、アルミニウムなどの様々なフィルム加工化学物質で動作するように変更することができるプラットフォームに依存しないシステムです。アプライドマテリアルズ8330は、直径375mmまでの基板をエッチング/アッシングできる大型チャンバーを搭載した先進モデルです。高圧ドライエッチング技術を採用しており、壊れやすい基板へのダメージを最小限に抑え、高解像度とアスペクト比のエッチングを実現します。キセノンランプベースの光学機器を搭載し、フィルムと基板の優れたコントラストを実現しています。8330は、高速なサーマルサイクル時間、高いエッチング速度と精度のための高圧反応イオンエッチング技術、より大きな基板に対応するための大きなチャンバーサイズのおかげで、優れたプロセス性能を提供します。エッチングパラメータを正確に制御するために、信頼性が高く、欠陥の少ない処理、および調整可能な温度制御用の小さなチャンバ設計を提供します。このツールはまた、優れたプロセス均一性を提供し、ユーザーはウェーハ表面全体にわたって均一なアスペクト比と表面仕上げを達成することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330アセットのその他の機能には、エッチング選択性を高めるための可変周波数プラズマソースと、操作を簡素化するためのコンピュータベースの制御モデル、および遠隔機械の監視と制御のためのイーサネット機能が含まれます。また、前処理用の発熱体、廃棄物処理用の塩酸濾過装置、効率的な真空濾過のためのコールドトラップを内蔵しています。システムは、最大限の汎用性のために設計され、メンテナンスと保守性の容易さのために設計されています。全体として、AMAT 8330は高度なエッチング/アッシャー・プラットフォームであり、さまざまな基板でエッチング結果を正確に提供します。その特徴は、集積回路、薄膜トランジスタなどの技術の生産に最適です。これは、繊細な基板への損傷を最小限に抑えながら、信頼性の高い均一な結果を提供するように設計されています。高度なコンピュータベース制御とイーサネット機能を備え、さまざまなアプリケーションに最適です。
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