中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #199197 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 Etch/Asherは、ポリイミド層やハードマスク層などの誘電体層から材料を除去することで、安定した高精度で複雑な構造を作り出す特殊な装置です。AMAT 8330は、エッチングの均一性、信頼性、精度を業界をリードする組み合わせで、最も要求の厳しいエッチング処理要件に対応します。アプライドマテリアルズ8330は、エッチングプロセスを通じてエッチング速度を均一に保つ二重波動エネルギーを利用しています。これは、1次元のエッチング処理とは対照的に、2次元エッチングで上面をエッチングするのに適しています。このツールはまた、プロセスが終了したときに正確に検出する自動エンドポイント検出機能を提供します。これにより、演算子の関与を最小限に抑えて、短い再現性のあるエッチング時間を可能にします。8330は、優れた精度と精度を提供する高度な14チャンバー設計を備えています。このツールは低圧高密度プラズマ技術を使用しており、過剰エッチングやアンダーエッチングを行うことなく、プロセスパラメータを正確に設定し、一貫して維持することができます。追加の利点は、プラズマ技術が機械の寿命を延ばす最小限のメンテナンスを必要とすることです。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330エッチング/アッシャーは、塩素、アルゴン、NF3などの様々なガスにも対応しており、幅広い誘電材料エッチングに適しています。プラズマの応用力はまたスパイクの形成なしで滑らかで、均一で、予測可能なエッチプロファイルを保障します。AMAT 8330は、複雑な基板材料の製造に不可欠なツールです。その高度な機能セットと正確な機械操作により、最も要求の厳しいプロセスを通じて信頼性の高い一貫したエッチング性能を提供できます。これにより、精度と精度が不可欠なアプリケーションに最適です。