中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310A #9356368 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310Aは、アッシングおよびエッチングに必要な環境を提供する真空チャンバーからなるエッチャー/アッシャー装置です。AMAT 8310A独自のモジュラーアーキテクチャにより、部品の迅速な交換と真空維持の柔軟性を実現します。電力定格と大容量の統合ソース技術により、高速で効率的で再現性のあるアッシングおよびエッチング処理が可能になります。ヘビーデューティ真空システムは、熱または無線周波数のエネルギー源で安全に灰、エッチング、およびドライクリーニングを行い、材料除去を最適化しながらオペレータの安全性を確保します。APPLIED MATERIALS 8310AにはAMAT ED3制御ユニットが装備されており、アッシング/エッチング工程のタイトな制御と真空機械の管理が可能です。独自にテストされ、認証されたクロージャ、環境シール、および実績のあるプロセス管理により、信頼性と一貫したプロセスが保証されます。さらに、高度なリークテストと真空安定性検出により、ツールとそのコンポーネントの安全性が保証されます。8310Aは、ウェットおよびドライエッチングを含む、幅広いアッシングおよびエッチング工程に合わせて調整されています。プラズマエッチングなどのドライエッチング工程では、熱や無線周波数のエネルギーを発生させて、最も繊細な方法で材料を除去します。AMAT/APPLIED MATERIALS 8310Aは、圧力、温度、ガス流量、ガス組成などのプロセスパラメータの自動制御を提供し、アッシングとエッチングのレシピの迅速なセットアップと最適化を可能にします。高度なリモートコントロールアセットは、エッチャー/アッシャーのデータと操作を安全に制御し、リモート診断エラーやメディアアーカイブにアクセスすることができます。また、柔軟な構成とプロセス監視を提供し、プロセス条件のリアルタイム監視を可能にする振動検出モデルを内蔵しています。AMAT 8310Aは、エッチングおよびアッシング処理を強化および自動化する無数の技術に加えて、サイクルタイムの短縮や生産性の向上など、多くの効率向上機能も提供しています。そのモジュラーアーキテクチャは、さまざまなチャンバーや複数のエネルギー源にアクセスすることで、プロセス制御のための最大限の余地を提供します。これにより、幅広い素材や基材を効率的にアッシング、エッチング、ドライクリーニングすることができます。APPLIED MATERIALS 8310Aは、高速で効率的で反復可能なエッチングとアッシングプロセスを必要とする業界に最適です。