中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9365710 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 （AMAT 8310）は、高いスループットとパターン化された基板の精密なエッチング/アッシング用に設計された自動プラズマエッチャー/アッシャーです。SiO2、 SiN、 Si3N4、ポリイミド、金属、窒化物など幅広い素材にエッチング/アッシングが可能です。このシステムには、調整可能なデュアル電子ビームガン、統合ビジョンユニット、マルチステーションのロボット処理機が装備されています。アプライドマテリアルズ8310は、真空チャンバー、絶縁チャンバー、および二重電子ビームガンで構成されています。真空チャンバーは、正確なパターンエッチング/アッシングに必要な均一なプラズマ環境を提供します。この絶縁チャンバーは、不活性な大気中のプロセスチャンバーにガスを注入することを可能にし、汚染を低減するプロセス領域から超紫外放射を遮断する。デュアル電子ビームガンは、エッチャー/アッシャーの最も重要な部分です。電子ビームは、プラズマの精密活性化に必要なエネルギーを提供します。これにより、エッチング/アッシング処理の高いスループットを実現します。デュアルガン技術により、複数のエッチングレベルが必要な場合に基板を再配置する必要がなくなり、エッチング/アッシングの合計時間が短縮されます。8310には、アライメント、スポット検査、パターン認識のための統合ビジョンツールが装備されています。これにより、パターンが正確に整列され、基板がメーカーの仕様に適合することが保証されます。さらに、マルチステーションロボットハンドリング資産を活用し、基板ハンドリングの柔軟性を高めています。これにより、手動による介入の数を減らすことができ、スループットを大幅に向上させることができます。最後に、大量生産用に設計されたAMAT/APPLIED MATERIALS 8310は、ユーザーが特定の材料エッチング/アッシングプロセスのレシピを保存できる広範なデータベースを備えています。また、マニュアル、セミオートマチック、オートマチックの3つの異なる操作モードを提供しています。要するに、AMAT 8310は、統合ビジョンシステムとマルチステーションロボットハンドリングユニットを備えた広範囲の材料をエッチング/アッシングすることができる自動、高スループット、高精度エッチング/アッシング装置、高精度のための調整可能なデュアル電子ビームガンを提供します。