中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9196363 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 Asherは、基板洗浄とエッチングの両方に使用される統合エッチング装置です。高性能のために設計されたエッチングシステムは、300mmウェーハサイズを備えています。このエッチャーは、1時間あたり最大30ウェーハの高いスループットを備えており、生産環境に優れています。このユニットは、使用可能なエッチングガスに柔軟性があり、ホットプレート設計により500°Cまで温度に達することができます。それはClass-1安全部屋が装備され、1°C。の最高温度の変化のよい熱均一性を提供します。AMAT 8310アッシャーは、薄膜の精密エッチングに高精度のエンボス機構を採用しています。堅牢なハードウェアとソフトウェア機能を備えており、圧力とガス濃度を簡単に調整できます。その先進的なプラズママシンは、ダウンタイムを削減し、プラズマの生成と処理能力を向上させ、高品質と信頼性を確保しています。エッチャーは、速度と精度を向上させてサイクルタイムを提供し、生産に必要な時間を短縮します。RFとDCの両方の電源を備えており、高誘電材料と低誘電材料の両方をエッチングすることができます。制御ソフトウェアは、エッチングプロセス中に各ウェーハを監視して均一性と品質保証を行うように設計されています。APPLIED MATERIALS 8310は、極端な汚染を処理および洗浄することができ、ユーザーはプロセスの問題を迅速かつ簡単に克服することができます。このツールは、高レベルの静的粒子とフィールド粒子を処理することができ、改善された清浄度と歩留まりを提供します。全体として、8310 Asherは高品質のエッチングと清潔さを提供する高性能エッチング資産です。使いやすく、熱均一性に優れているため、高いスループットと優れたエッチング品質を必要とする生産環境に最適です。