中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9122949 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310は、半導体業界で一般的に使用されるエッチャーおよびアッシャーです。イオン注入および沈着プロセスに最適なソリューションです。多機能エッチャーとして、さまざまな半導体フィルムの堆積、エッチング、アッシャー、クリーニングに使用できます。AMAT 8310は、優れた均一性、再現性、プロセス制御を提供し、小型ウェハおよび少量アプリケーションに最適です。アプライドマテリアルズ8310は、さまざまなエネルギー源で動作するように設計されており、RFおよびN2エッチング機能をサポートしています。複数のプロセスモジュール用の高度な軸段、大型チャンバー、成膜用のネブライザーを使用するロードロックチャンバーなど、さまざまな機能を備えています。PM2プロセスモジュールには、プロセス微調整のために最適化されたイオンミルとアノード遠心分離機が装備されています。8310は高速で高精度のアッシャー機能、および大量のプロセス機能を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと、便利な操作のための内蔵のEGA Auto Remote Interface （ERI）システムと統合されています。RFとN2エッチングの両方のプロセスを可能にする2ピースシステムは、低生産量と高生産量の両方に最適です。AMAT/APPLIED MATERIALS 8310にはホットガスシステムとファインチューナーが付属しており、低熱応力で高い収率で最適な蒸着プロセスを提供します。非接触渦電流センサを備えており、幅広い温度範囲で正確な蒸着測定が可能です。AMAT 8310は信頼できる性能のために設計され、24か月の保証によって支えられ、産業および研究の適用のための大きい選択をします。堅牢な設計と高いプロセス制御により、APPLIED MATERIALS 8310は、ユーザーに最高品質の結果を得るために操作できるパラメータを優れた制御を提供します。