中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #293619544 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 8310
ID: 293619544
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Oxide etchers, 6" 1990 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALIES 8310エッチャー/アッシャーは、最高の産業ニーズを満たすように設計された高度な酸化エッチャーです。この装置は優秀な性能を提供するために優秀な工学および産業等級の部品と造られます。この熱酸化エッチャーは、Si、 Ti、 Ni、 Nbなどの材料だけでなく、他の金属や合金にも最適です。システムにはオープンアーキテクチャとモジュラーコンパクトデザインが含まれているため、インストールとメンテナンスが非常に簡単です。AMAT 8310エッチャー/アッシャーユニットは、処理チャンバ、プロセスコントローラ、電源の3つの主要コンポーネントで構成されています。加工チャンバーは垂直チャンバーイルミネータを備えており、高い均一性を生み出し、均一なガスの流れとエッチング/アッシング結果の均一性を可能にします。プロセスコントローラは直感的なユーザーインターフェイスとカスタマイズ可能なプログラミングを備えており、さまざまなエッチング操作のための正確な制御設定を可能にします。そして電源はエッチング温度を正確に制御するためにフルウェーブ電源制御を提供します。アプライドマテリアルズ8310エッチャー/アッシャーは、Siやメガネなどの材料の高度な酸化エッチングを実行することができ、また、低応力の酸化物ストリッピング機能を提供します。機械は900°Cまでの温度で材料を処理するようにプログラムすることができます。また、サンプルへの応力を最小限に抑える排気速度制御、エッチング工程のリアルタイム表示用のガス表示ポートも備えています。エッチングプロセスの正確な制御を提供することに加えて、8310エッチャー/アッシャーには多くの便利な機能も含まれています。これには、エッチング工程を精密に可視化するためのサーマルイメージングカメラと、酸化物層の正確な厚さとレート制御と正確な深さ制御が含まれます。この資産には、インテリジェントなデータ収集モデルと、最高品質の結果を保証するためのトレーサビリティパッケージも含まれています。この装置は、浅いエッチングや深いエッチングなど、さまざまな特定のエッチング作業を実行するようにプログラムすることもできます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8310エッチャー/アッシャーは、今日の業界のニーズを満たすように設計された業界グレードの酸化エッチャーです。この信頼性と信頼性の高いエッチャーは、材料の効率的、均一かつ制御された酸化エッチングを提供するために、高度なエンジニアリングとコンポーネントで構築されています。直感的なプログラミングと正確な制御により、さまざまなエッチング操作に理想的なソリューションを提供します。
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