中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #9087521 を販売中

ID: 9087521
ウェーハサイズ: 8"
Oxide etchers, 8" NESLAB Heat exchanger LEYBOLD Wet pump.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8300は、様々な基板のウェーハを加工するための高度なエッチング/アッシャープラットフォームです。AMAT 8300は、トランジスタ、マイクロチップ、集積回路、太陽電池などの先端技術の高密度製品を製造することを可能にします。この装置は精密なエッチング結果を達成することができ、量産要件に最適です。アプライドマテリアルズ8300は、優れたプロセス制御を提供し、望ましいエッチング特性に適合させます。プラットホームには、プラズマ源、電力利用システム、ソースコントローラ、ガス供給ユニット、マッチネットワーク、チャンバーなど、複数のハードウェアユニットが並んでいます。これらのハードウェアコンポーネントは連携して、ウェーハ表面のクリーンで効率的なエッチングを提供します。プラズマ源は、無線周波数(RF)加速器を使用して、浸食しないエッチング面を提供するアルゴンプラズマを作成します。これは、RFアクセラレータがウェーハ表面と直接接触する必要がないため、プロセスを迅速かつクリーンに進めることができます。電力使用率マシンは、適用された電力を調整し、ユーザーはエッチング処理で使用される電力のみを支払うようにします。ソースコントローラは、圧力調整されたプログラム可能なアシストガスを使用し、マッチネットワークは周波数チューナブル回路を使用してプラズマを正確なエッチング要件に設定します。8300は、浅いトレンチの分離から銅と光学アライメントの接触エッチングまで、さまざまなアプリケーションに適しています。また、フォトマスク、埋め込み、プラズマ強化化学蒸着、表面処理など、幅広い用途に最適です。さらに、4インチまでの基板にも対応可能で、再現性に優れています。精密で均一なエッチングを実現するAMAT/APPLIED MATERIALS 8300ツールは、品質と費用対効果の高い製品を製造するメーカーにとって理想的な選択肢です。信頼性が高く、費用対効果が高く生産性が高い。幅広いプロセス制御オプションと最新のテクノロジーを活用することで、優れた価値をお客様に提供します。
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