中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #293610283 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8300は、半導体基板の複雑なパターニング用に設計された多機能エッチャーおよびアッシャー装置です。ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）とプラズマアッシングを一体化し、高性能デバイスの高速パターニングを実現します。AMAT 8300は、最大8インチのウエハサイズの基板を加工するために構築されており、さまざまな基板およびプロセスパラメータに対応するスケーラブルなプロセスウィンドウを備えています。エッチングには、軽量のグラスファイバーボディに埋め込まれた先進的な誘導結合プラズマ（ICP）ソースを使用して、高エッチング率のスループットを実現します。このICPソースは、低コストの生産のための調整可能なパラメータの範囲で設計されています。酸素を含むガス（O2やO3など）を反応室内に導入し、外部プラズマ源でガスを活性化することでアッシングを行います。このプラズマアッシングにより、非接触での成膜および/または材料の除去を制御できます。このツールは、高い信頼性と再現性を目的に設計されており、プロセスパラメータの微調整を可能にする自動化されたプロセスレシピにより、最高の仕様を満たしています。作業寿命が長く、高精度なアプライドマテリアルズ8300は、デジタル、アナログ、高速メモリ部品など、幅広いデバイスの製造に最適です。8300にはオンボードマイコンが付属しており、遠隔監視と制御が可能です。精度と品質を確保するために、AMAT/APPLIED MATERIALS 8300には専用のプロセス制御および計測システムが付属しており、プロセスの一部としてエッチパラメータを自動調整します。最後に、AMAT 8300には包括的な安全パッケージが付属しています。QSXソフトウェアスイートは、プロセスパラメータと潜在的な障害ポイントの自動監視を可能にし、発生する前に潜在的な問題を警告します。反応チャンバーのロックや消火資産などの安全機能により、モデルはすべての安全規制およびプロトコルに準拠しています。全体として、アプライドマテリアルズ8300は、最適な生産性と品質のために設計された、強力で信頼性の高いエッチングおよびアッシング装置です。