中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8116 #9250131 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 8116
ID: 9250131
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1992
Oxide etcher, 6" Missing parts 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8116は、半導体業界で使用される高度なエッチングおよびアッシング装置です。超精密で高速なエッチングとアッシング機能により、フォトマスクのレイアウトと生産に最適です。この自動化システムは、高圧で複数のエッチングガスを使用して、金属、誘電体、ガラス、セラミックスなどを高精度にエッチングします。AMAT 8116は、高度なマルチパルス操作を利用して、高精度でエッチングし、その後表面をきれいにする必要性を最小限に抑えます。アプライドマテリアルズ8116の中心には、コンピュータ制御の自動処理チャンバーがあります。理想的なプロセス条件のために6つまでのガスが加熱され、混合され、そして調整される部屋で長い生命エッチングおよびashingプロセスは行われます。この高温および非常に反応性のあるチャンバーは、最も効果的なエッチングとアッシングの結果を提供します。8116はまた、基板の正確な積み下ろしを可能にする自動ウェーハハンドリングユニットを備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS 8116は、優れたエッチングおよびアッシング操作を提供し、優れた結果を提供します。水冷コイルエッチング技術により、エッチングガス凝縮によるウェハ汚染を排除します。また、低アーク化プラズマエッチング技術により、基材に影響を与えることなく、高品質のエッチングパターンを繊細な基板上で実現します。高速サイクルタイム、高スループット機能、エッチング性能の向上により、AMAT 8116は精密マスクの迅速な製造を容易にします。さらに、応用材料8116機械はより大きい操作の柔軟性および制御を提供します;その洗練されたオンボードコントローラは、直感的なユーザーフレンドリーなインターフェイスで簡単に操作できます。直感的な制御により、ユーザーは複数のエッチングおよびアッシングパラメータを管理してツールプロセスを最適化できます。8116には、電気、機械、またはソフトウェアの問題をすばやく特定し、スムーズなパフォーマンスを確保する自己診断アセットも内蔵しています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS 8116は、半導体産業のトップノッチのエッチングおよびアッシングモデルです。その洗練された技術、高速サイクルタイム、および正確な結果により、正確なフォトマスクを迅速かつ信頼性の高い精度で製造するのに最適です。自動化されたウェーハハンドリング、直感的な制御、自己診断装置などの機能を備えているため、エッチングやアッシングのニーズに最適です。
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