中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8116 #9250130 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8116は、半導体デバイス製造用に設計されたエッチャー/アッシャーの一種です。プログラマブルな制御と高い均一性を備えたシングルウェーハプラズマエッチャー/アッシャーです。AMAT 8116は主に集積回路（IC）デバイスの製造に使用されます。アプライドマテリアルズ8116は、RF電力を使用してデバイスの周りに比較的低温のプラズマを作成し、材料の層をエッチングするために使用されます。8116は、RF電力漏れを最小限に抑えることでプラズマの均一性を最適化する金属シールド（MS）チャンバー設計を採用しています。このチャンバーはまた、平行板電極を使用して、ウェーハの直径全体にわたって均一で一致したプラズマ密度を確保します。この機能により、小さな断面積を最小の仕様まで正確に製造することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8116は、Ge/SiやSiGe/Siなどの高性能材料の処理を可能にする超高真空（UHV）機械式ポンプも備えています。また、高精度なガス供給システムにより、パルスやスピンエッチングなどの正確なエッチング動作に必要な正確なプロセス条件を実現することができます。調節可能なスリットおよび調節可能なシャワーヘッドの高さのような他の高度の特徴はエッチングの幾何学および均等性を精密に制御することを可能にします。アプライドマテリアルズ8116はターンキー対応で、優れた性能と信頼性を提供します。パルス技術を活用することで、スループットの高いナノメートルやサブミクロンの最小フィーチャーサイズを実現できます。8116はIGBTベースで、特定のエッチングプロセスに合わせて調整できるスケーラブルな電源を搭載しています。優れたプラズマ均一性、低い運用コスト、柔軟性により、高度なデバイス製造に最適です。