中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8116 #9226746 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8116は、半導体加工に使用される高性能エッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、特に薄膜の精密、精密、高精度な蒸着およびエッチング用に設計されています。クリーンルーム環境での製造工程を想定しており、多種多様な半導体材料や用途に適しています。AMAT 8116はシングルウェーハローディングユニットを備えており、迅速で信頼性の高いスループットを実現します。オープンフレームプラットフォーム設計により、高性能な真空運転が可能です。また、拡張動作圧力、高い制御精度、および温度の均一性を備えています。APPLIED MATERIALS 8116の独立した温度制御ツールは、蒸着またはエッチング工程全体にわたって正確な熱制御を可能にします。このアセットは、広域およびマルチスポットの高精度アッシャー/エッチャー蒸着プロセスが可能であり、スルーマスクおよびスルーオキシド蒸着が可能です。アッシャー/エッチャーは、ドライエッチング処理に使用でき、主に半導体デバイスにおけるトレンチ構造の形成に使用されます。すべての成膜およびエッチングプロセスパラメータは、タッチスクリーン上のユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを介して設定されます。プラグアンドプレイのコンセプトと温度制御の高精度によって信頼性が保証されます。このモデルは、完全に統合されたインテリジェントな機器機能を備えた24時間365日の生産モードで動作するように設計されています。このソフトウェアは、自動化されたプロセスシーケンス制御とモニタリング技術を可能にします。8116は、酸ベースの安全管理システムを含む高度な安全性の強化を備えています。安全装置は浴室水温およびpHの監視、警報システムおよび適切に評価される保護発煙のフードから成っています。この機械には50以上の部品整合性監視ツールが装備されており、欠陥部品がエッチングユニットに再入力せず、顧客に送信されます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8116は、高性能で柔軟なエッチングと蒸着アセットで、比類のない蒸着精度、均一性、再現性を提供します。AMAT 8116は、独自の拡張動作圧力、温度制御および安全システムにより、幅広い半導体アプリケーションに最適なソリューションです。