中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8115 #9196362 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8115は、多くの先進的な材料蒸着およびエッチング工程で重要なデバイス層に高速エッチングとアッシングを提供するエッチング/アッシュ装置です。AMAT 8115は、シリコンウェーハ半導体加工における重要な用途に優れたプロセス性能を提供します。このシステムは、シリコン、二酸化ケイ素、ポリシリコン、窒化物、金属などの複数の材料に精密エッチングとアッシングを提供します。このユニットには、統合メモリネットワークとプロセッサを備えた高度なソフトウェアパッケージが搭載されており、ユーザーは最高のパフォーマンス、生産性、コスト効率を得ることができます。アプライドマテリアルズ8115には、2つの独立した自動化されたプロセスソースが含まれています。ユーザーは最新の技術でプロセスを最適化することができ、8115はエッチングとアッシュプロセスのための個別のレシピを同時に実行します。AMAT/APPLIED MATERIALS 8115は、完全に自動化されたRFソース、低パークデータ収集、およびウェーハ構成マップの選択を備えており、ユーザーは個々のウェーハのプロセスターゲットを選択できます。これにより、プロセスの均一性が向上し、サイクルタイムが向上します。AMAT 8115は、リアルタイムのプロセス監視と診断のためにウェーハ表面を観察するための内蔵の光学マシンを備えています。これにより、プロセスの最適化、メンテナンス、および歩留まりの改善が可能になります。応用材料8115は有効なガス配達、力、温度、圧力および部屋制御を含む調理法変数の広い範囲を支えることができます。また、高速エッチング、効率的な冷却、プロセス残留物の迅速な除去の厳格な組み合わせを提供します。これは、高度なプロセスの厳しい加熱、冷却、エッチング要件を維持するのに役立ちます。また、8115はオープンアーキテクチャプラットフォーム上に構築されているため、他のAMAT機器やソフトウェアモジュールと容易に統合できます。豊富な機能セットにより、ユーザーは簡単に多数のエッチングおよびアッシュアプリケーションを実行できます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8115はコンパクトで強力なツールで、多くの先端材料の基板加工に最適です。