中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8115 #78336 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8115エッチャー/アッシャーは、ラウンドまたは長方形のウェーハを最大8インチのサイズで処理するように設計された高度なドライエッチング装置です。半導体製造、フラットパネルディスプレイ、MEMS製造など、さまざまな業界で使用されています。エッチング機能により、同様のサイズの基板に最適です。精密なプロセス制御と再現性を可能にする高度な制御ユニットを備えています。精密2軸モーションコントロールにより、高性能で再現性のあるエッチング結果を実現します。AMAT 8115の追加の特徴は、O2、 Cl2、 SF6、 NH3などの幅広いプロセスガスに対応できることです。この柔軟性により、さまざまなエッチングのニーズに適応できます。アプライドマテリアルズ8115は、マグネトロンシステムと比較してより均一なエッチングを提供するように設計されたハードカソード、オープンフィールドコンポーネントを使用しています。さらに、統合されたRFジェネレータは、最大300 Wの高出力を提供することができます。このツールは、コンパクトなフットプリント内で動作し、転送モジュール、反応チャンバ、ロボット、排気資産で構成されています。このモデルは、ウェーハの自動ロードとアンロードを容易にするように設計されています。装置には、プロセスが最適なレベルで実行されていることを確認するためのガス監視機能も装備されています。8115エッチャー/アッシャーは、高精度、再現性、および長期的な信頼性を備えた高性能エッチングを提供するように構築されています。半導体メーカーや微細加工プロセスを活用した業界向けの便利で費用対効果の高いツールです。