中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9277530 を販売中

ID: 9277530
Etchers.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8110は、優れたエッチングと灰の性能を提供するように設計された高度なエッチャーおよびアッシャー装置です。AMAT 8110は、高度なプラズマソース技術を活用し、自動電源と圧力制御を組み合わせて、非常に反復可能なエッチングと灰プロセスを提供します。アプライドマテリアルズ8110は、エッチングとアッシング速度を正確に制御するように設計されており、プロセスの再現性に優れ、優れた歩留まりをもたらします。8110は、超精密なエッチングおよび灰操作のために直流駆動サーボモーションシステムに結合された円筒エッチングチャンバーを使用しています。ダイレクトドライブユニットはAMAT/APPLIED MATERIALS 8110を使用して、複雑な形状をエッチングまたはアッシングする場合でも、高精度で再現性の高い結果を得ることができます。AMAT 8110は、高いRFおよびダイレクトドライブ周波数で動作するように設計されており、エッチングとアッシングの均一性と再現性が向上します。アプライドマテリアルズ8110は、幅広いウェーハに対応できる大型フレキシブルロックマシンを搭載し、効率とスループットを最大限に引き出すことができます。loadlockツールは、リモートモニタリングとレシピ管理を提供する高度なプロセスコントローラと組み合わされており、8110を使いやすくしています。さらに、Advanced Materials AMAT/APPLIED MATERIALS 8110は、圧力に敏感な安全シャッターを含む内蔵の安全機能を備えており、安全性が向上し、汚染リスクが低減されます。AMAT 8110はまた、エッチングと灰ガスの混入の懸念を排除するための障壁壁を備えています。高度なエッチングと灰の技術、優れた精度と制御、柔軟なロードロックシステム、安全機能を組み合わせたAPPLIED MATERIALS 8110は、最高級のエッチャーとアッシャーです。8110は、再現性のある正確なエッチングおよびアッシング操作を実現するように設計されており、優れたスループットにより、顧客は歩留まりを最大化し、コストを削減することができます。
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