中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9269146 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 8110
ID: 9269146
ウェーハサイズ: 5"
Etchers, 5".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8110は、プラズマエッチング性能に優れ、優れたプロセス品質と再現性を実現するエッチャー/アッシャーです。多種多様な素材をエッチングすることができる装置です。このシステムには、2つの独立したプレミアムコントローラと2つの基板チャックが装備されており、複数の材料とプロセスレシピを実行するように設計されています。AMAT 8110ユニットは、幅広い用途において、あらゆるエッチング操作に対応する高スループット、大量生産プロセスを特長としています。高性能チャンバは、すべての基板サイズに対応し、APM 1700または1400フィードマシン(より大容量)で事前構成されています。APPLIED MATERIALS 8110には、高度なデジタルチューブ炉と大規模な排気冷却ツールも含まれており、高速ランプレートと深いエッチング性能を実現しています。8110は、追跡可能なファイル、パラメータファイル、プロセスモニタなどの統合されたプロセスモニタリングツールで優れた再現性を提供します。これにより、一貫した資産の出力とパフォーマンスが保証されます。デジタルチューブ炉は、急速な温度ランプを可能にし、エッチングプロセスの重要な部分の変動を最小限に抑えます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8110は、3つのエッチング電極により優れた柔軟性を提供しながら、プロセス制御と再現性を高める柔軟な電極設計を特徴としています。AMAT 8110には、動圧コントローラ、酸素およびフッ素流量制御、アーク電圧レギュレーションなど、さまざまな制御があります。これにより、ユーザーはエッチングプロセスを調整し、プロセスを可能な限り最良の結果に調整することができます。アプライドマテリアルズ8110は、金属、ポリマー、絶縁体、半導体をエッチングするために使用でき、各材料タイプの競争力を提供します。最後に、8110は既存のセルアーキテクチャに統合され、完全なモデル構成の一環として他のAMAT機器と組み合わせることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS 8110は、高性能エッチング用途に最適なエッチャー/アッシャーです。その高度な技術と設計は、すべての材料タイプに優れたエッチング性能、再現性、および制御を提供します。このユーザーフレンドリーな機器は、ユーザーに最高レベルのプロセス性能と生産性を提供します。
まだレビューはありません